多晶硅是微電子行業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)的“基石”，是信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)最基礎(chǔ)的原材料。一般電子級硅要求含Si>99.9999%，電子級多晶硅則要求達到9個“9”以上。作為戰(zhàn)略性原材料，電子級多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)和市場長期由國外壟斷，制約我國集成電路產(chǎn)業(yè)、新能源產(chǎn)業(yè)、新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
5月24日，國家電投黃河水電新能源分公司正式推出國產(chǎn)高純電子級多晶硅產(chǎn)品——“黃河水電多晶硅”，實現(xiàn)了電子級多晶硅的“中國制造”，打破國外壟斷格局。
填補國內(nèi)空白
國內(nèi)首條電子級多晶硅生產(chǎn)線的出現(xiàn)，經(jīng)歷了近10年的時間。
據(jù)黃河公司新能源分公司總經(jīng)理劉剛介紹，“黃河水電多晶硅”的研發(fā)工作正式開始于2006年，于2010年全面投產(chǎn)，形成的2500噸高純電子級多晶硅產(chǎn)能，填補了國內(nèi)空白，目前國內(nèi)市場占有率達10%。2015年，黃河水電多晶硅完成國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》（即“02專項”）全部技術(shù)指標要求。
“黃河水電多晶硅”采用改良西門子法，年產(chǎn)達2500噸電子級多晶硅，實現(xiàn)完全閉路循環(huán)，節(jié)能低耗、安全環(huán)保，其氧含量<0.02ppma，碳含量<0.02ppma，受主雜質(zhì)<0.03ppba，施主雜質(zhì)<0.05ppba，基體總金屬雜質(zhì)<2ppbw，經(jīng)第三方權(quán)威檢測機構(gòu)檢測，產(chǎn)品質(zhì)量與德國、日本知名多晶硅質(zhì)量相當。
“攻克電子級多晶硅的關(guān)鍵要素包括很多方面，對工藝、設(shè)備管道選型、儀表選型、潔凈室等級都有嚴格的要求，在施工及檢修時，需要按照最高潔凈等級規(guī)范，在原輔材料、中間產(chǎn)品、輔助氣體和介質(zhì)方面也要進行完善的質(zhì)量體系控制。”劉剛補充，“每一個細小環(huán)節(jié)都需要長期的實驗積累有效的數(shù)據(jù)，從中找出制約質(zhì)量提升的因素。”
來自重慶的某下游企業(yè)負責人告訴記者：“設(shè)備可以階段性引入，但材料必須是連續(xù)性的，我們曾遇到過某外國廠商的突然斷供，造成了很大損失。如果關(guān)鍵材料可以實現(xiàn)國產(chǎn)化，我們可以減少很多后顧之憂。”
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